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| 影像测量仪检测台阶面高度及小孔深度的方法 |
| 影像测量仪检测产品台阶面高度或孔深高度时，利用Z轴上下运动，通过Z轴光栅尺读取上下基准数值得出测量结果。 非接触测量法：影像距焦法测量高度及深度； 利用影像测量软件上的测度程度模块，通过对焦距的二次对焦法 ，找上下两个平面，把其中一个面作为基准面清零Z轴光栅数据，再对焦到另一平面。Z轴光栅读数值就是要检测的高度。检测误差最高可达到5个微米以内。 优点：硬件成本低，费用低。 缺点：在现场产品检测中对上下两个面的平整度要求比较高，否则重复性较差。 接触测量法：加装测头接触法测高； 在Z轴上安装的探针；利用点接触法直接在被测产品表面取点，通过软件算法对点的计算，上下两个面同样打点，结合Z轴光栅读数，算出检测结果。 优点：重复性比较稳定。 缺点：增加硬件成本，费用相对较高。 |
